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            文章詳情

            硅諧振傳感器原理

            日期:2022-07-18 17:22
            瀏覽次數:1987
            摘要:

            硅諧振傳感器原理

            硅諧振傳感器是對單晶硅采用技術完善的3-D半導體微機械加工技術制作而成。在傳感器上微加工兩個H型振子,均具有高頻輸出。施加壓力時,H型振子同時受力,一個受到壓力,另一個受到拉力。諧振頻率發生相應的變化,從而產生與作用壓力直接成比例的高差壓輸出(kHz)。這一簡單的時間函數由微處理器管理。

            • 微機械處理單晶硅,可以提高穩定性和再現性,消除滯后現象。
            • 溫度的影響是其他硅技術(10ppm/℃)的十分之一弱,因此即使是條件*苛刻的過程應用中都可以確保出色的穩定性。相比模擬傳感器,硅諧振傳感器輸出可以產生更高的信噪比。硅諧振傳感器的輸出至少是其前任產品壓阻式硅傳感器的四倍。溫度和靜壓產生的誤差在整體輸出中可忽略不計。

            滬公網安備 31011202007392號

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